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產(chǎn)品中心

PRODUCTS CENTER

當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心電鏡制樣設(shè)備噴金儀FSEM AA200雙靶位噴金儀

雙靶位噴金儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FSEM AA200雙靶位噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析。該設(shè)備是全自動(dòng)系統(tǒng),從而使操作變得極為簡(jiǎn)便。秉承人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念的同時(shí),緊湊的外觀設(shè)計(jì)和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室空間。FSEM系列噴金儀采用高性能旋葉真空泵,快速獲得<1Pa的真空環(huán)境,高精度的濺射電源采用恒流控制,鍍膜更純,膜厚更更準(zhǔn),結(jié)果重復(fù)性更好。

產(chǎn)品型號(hào):FSEM AA200
更新時(shí)間:2025-06-04
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:329
詳細(xì)介紹在線留言

u應(yīng)用簡(jiǎn)介

如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質(zhì)量的樣本成像,樣本需要具有導(dǎo)電性,以避免電荷聚積。如果樣本沒(méi)有足夠高的導(dǎo)電性,您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導(dǎo)電層。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法。 這類鍍膜既可以保護(hù)樣本,增強(qiáng)電子顯微成像的對(duì)比度,又可以作為小規(guī)模樣本的透射電鏡載網(wǎng)支撐膜。

u設(shè)備概述

FSEM AA200雙靶位噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析設(shè)備是全自動(dòng)系統(tǒng),從而使操作變得極為簡(jiǎn)便。秉承人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念的同時(shí),緊湊的外觀設(shè)計(jì)和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室空間。FSEM系列噴金儀為全閉環(huán)真空設(shè)計(jì),配有全量程皮拉尼真空計(jì)等多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài),保證儀器安全穩(wěn)定運(yùn)行。采用高性能旋葉真空泵,快速獲得<1Pa的真空環(huán)境,高精度的濺射電源采用恒流控制,鍍膜更純,膜厚更準(zhǔn),結(jié)果重復(fù)性更好。

u產(chǎn)品特點(diǎn)

設(shè)計(jì)美觀,操作簡(jiǎn)單,界面友好、一鍵鍍膜

◇ 雙靶位設(shè)計(jì),無(wú)需更換靶材,可實(shí)現(xiàn)疊層工藝

◇ 采用抽大樣品倉(cāng),可進(jìn)行快速制樣樣品臺(tái)可預(yù)傾斜及旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)可調(diào)

◇ 可直接放置16個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘型樣品臺(tái),無(wú)需工作人員介入,節(jié)省人力和時(shí)間

◇ 采用ARM架構(gòu),全自動(dòng)控制,控制精度高,操作簡(jiǎn)單

◇ 低電壓,穩(wěn)定真空環(huán)境,可濺射多種常用金屬金、鉑、鈀、銀等

◇ 濺射顆??蛇_(dá)納米級(jí)別,濺射顆粒<5nm制備薄膜致密,適合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控濺射技術(shù),利用平面磁場(chǎng)減少溫度的變化,適用于溫度敏感樣品

◇ 配有多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài),保證儀器使用安全

◇ 長(zhǎng)期運(yùn)行,穩(wěn)定可靠,無(wú)需特殊維護(hù)

◇ 具備開(kāi)關(guān)機(jī)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)記憶,修復(fù)長(zhǎng)期應(yīng)用偏差

◇ 儀器可全自動(dòng)控制,更方便用戶實(shí)現(xiàn)各種自動(dòng)化控制操作

◇ 軟件遵循GMP規(guī)范,方便實(shí)現(xiàn)用戶管理,使用記錄等功能

u技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號(hào)

FSEM AA200

濺射類型

低壓磁控平面濺射

靶材尺寸

雙靶位靶材,靶材直徑32mm

控制模式

5寸觸摸屏全自動(dòng)程序控制

真空系統(tǒng)

機(jī)械旋葉泵,極限真空<1Pa真空抽速1L/s

真空測(cè)量

全量程皮拉尼數(shù)字真空計(jì)

工作真空

2-8Pa,真空精度可達(dá)0.1Pa

樣品臺(tái)

可升降傾斜旋轉(zhuǎn),可放置16個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘型臺(tái),直徑可達(dá)100mm

濺射電源

雙恒流磁控DC濺射電源300-600V,Max50mA控制精度可達(dá)1mA

濺射時(shí)間

≤600s,控制精度1s

真空腔室

φ160×120mm

供電要求

200-240VAC 50Hz,功率900W

外形尺寸

520×360×380mm




u配置清單

序號(hào)

名稱

規(guī)格

數(shù)量

1.

雙靶位噴金儀主機(jī)

FSEM AA200

1臺(tái)

2.

濺射靶材金靶

φ32×0.1mm

1個(gè)

3.

濺射靶材鉑靶

φ32×0.1mm

1個(gè)

4.

真空管路

KF16-1.2m

1根

5.

機(jī)械真空泵

VRD-4

1臺(tái)

6.

合格證、保修卡、說(shuō)明書(shū)、裝箱單

/

1套


u服務(wù)承諾

1、產(chǎn)品到達(dá)貴公司后,我公司工程師可在貴公司準(zhǔn)備好設(shè)備所需外部條件(如水、電、等)后,負(fù)責(zé)該設(shè)備的安裝、調(diào)試、啟動(dòng)工作,并提供良好的技術(shù)支持和售后服務(wù),同時(shí)對(duì)貴公司使用人員進(jìn)行設(shè)備使用培訓(xùn),保證受訓(xùn)人員能夠獨(dú)立、熟練操作設(shè)備和完成簡(jiǎn)單的維修工作、設(shè)備日常維護(hù)工作。復(fù)雜設(shè)備,此項(xiàng)工作在用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行,簡(jiǎn)單設(shè)備,此項(xiàng)工作遠(yuǎn)程視頻指導(dǎo)進(jìn)行,具體按照雙方合同條款執(zhí)行。

2、我公司產(chǎn)品在貴公司負(fù)責(zé)人驗(yàn)收合格書(shū)上簽字之日起計(jì)算免費(fèi)保修壹年。在免費(fèi)保修期內(nèi),產(chǎn)品發(fā)生非人為質(zhì)量問(wèn)題,我公司為貴公司提供免費(fèi)維修。如產(chǎn)品在免費(fèi)保修期外出現(xiàn)故障,維修服務(wù)只適當(dāng)收取人工費(fèi)與材料成本費(fèi),并采取“先維修后付費(fèi)"的原則。

3、我司擁有全國(guó)客戶支持中心,通過(guò)電話及視頻通話及時(shí)幫助全國(guó)客戶解答問(wèn)題,擁有一支訓(xùn)練有素的工程師隊(duì)伍為全國(guó)各地的客戶提供優(yōu)質(zhì)、快速的上門服務(wù)。我司在接到貴方的故障通知后,保證在 0.5 小時(shí)內(nèi)做出響應(yīng),如有需要,確保12小時(shí)內(nèi)到達(dá)客戶現(xiàn)場(chǎng)排除故障。

4、我公司承諾在該設(shè)備的使用期間,可無(wú)償、無(wú)限期地提供該設(shè)備的技術(shù)支持工作。

5、我公司承諾提供免費(fèi)軟件升級(jí)服務(wù)(如涉及)。

6、我司工程師長(zhǎng)期免費(fèi)為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協(xié)助。

7、我司有完善的配套耗材體系,客戶有新材料需要制樣時(shí),免費(fèi)為客戶提供合適的耗材進(jìn)行測(cè)試。

8、由于我司和SGS、華測(cè)檢測(cè)、上海機(jī)械協(xié)會(huì)失效分析委員會(huì)、上海市電子學(xué)會(huì)SMT/MPT專委會(huì)、北京科技大學(xué)、蘇州大學(xué)等行業(yè)三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)有深入合作,我方承諾為客戶失效分析實(shí)驗(yàn)室提供長(zhǎng)期免費(fèi)咨詢服務(wù)和引薦服務(wù)。



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